大樣品臺原子力顯微鏡NTEGRA Prima的標(biāo)準(zhǔn)配置包括在大氣環(huán)境甚至液體環(huán)境中得到原子分辨圖像的基本配置。NTEGRA Prima不僅提供了所有傳統(tǒng)技術(shù)，例如形貌、相位、磁力測量，它還包括許多NT-MDT*的技術(shù)，例如，NT-MDT掃描電容顯微鏡，它以*的精度（1aF）對樣品表面電荷載流子濃度的變化進(jìn)行成像，創(chuàng)造了電容測量的標(biāo)準(zhǔn)。NT-MDT的另一項(xiàng)專有技術(shù)原子力聲學(xué)顯微鏡（AFAM），是對彈性進(jìn)行高級研究的工具，它只需附加一個(gè)簡單易安裝的附件。AFAM利用局域彈性，可以對疇和結(jié)構(gòu)進(jìn)行直接的、非破壞性的成像，還可以對楊氏模量和其它如粘彈力、摩擦力在內(nèi)的表面參數(shù)進(jìn)行直接、定量地測量。

在原子尺度工作時(shí)，定位精度非常的關(guān)鍵。為了確保精度，所有NTEGRA 系列產(chǎn)品都特別的設(shè)計(jì)了內(nèi)置、閉環(huán)的電容傳感器。即使當(dāng)掃描區(qū)域小到50×50nm，因其超低的噪音水平（典型值小于0.1nm）仍然能在使用內(nèi)置傳感器的情況下對樣品表面進(jìn)行成像和修飾。可靠的掃描反饋確?？筛呔鹊亩繙y量針尖和樣品表面間的相互作用力。

對于NTEGRA而言，NTEGRA Prima 僅僅只是一個(gè)基礎(chǔ)、核心，它所創(chuàng)建的納米實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)了*開放的硬件、軟件和信號集成的結(jié)構(gòu)，為與其它儀器集成提供了接口和平臺。它可以和高級光譜儀、超薄切片機(jī)、大規(guī)模篩選（high-throughput screening）以及加熱附件等結(jié)合，形成新一代的集成分析儀器。無論你需要的是簡單的還是更加的完善和復(fù)雜的SPM，NTEGRA Prima都能提供良好的平臺，保證你成功的成像和測量。

大樣品臺原子力顯微鏡特色介紹：

裝有一個(gè)帶集成電容傳感器的可更換掃描器，可獲得的掃描范圍：100x100x12 µm，雙掃描模式（DualScan）是NT-MDT*的技術(shù)，它采用一個(gè)可更換的底部掃描器（100x100x12µm）和一個(gè)頂部掃描器（100x100x10μm），使總的掃描范圍達(dá)到：200x200x22μm；XY非線性：校正后，峰峰值0.05%，在整個(gè)掃描范圍內(nèi)，X-Y平面的定位精度保持在10-20納米內(nèi)；NTEGRA的控制器和機(jī)械部件可以在高達(dá)5 MHz的高頻下工作，因此儀器可以使用高共振頻率的懸臂，從而得到更加*的圖像；同樣這使得原子力聲學(xué)顯微鏡（AFAM）的應(yīng)用成為可能。該系統(tǒng)可以用于研究高電阻材料，例如半導(dǎo)體上的薄膜絕緣層、DLC和壓電薄膜、導(dǎo)電聚合物等。

低熱漂移和熱穩(wěn)定性（特殊材料：鈦）

友好的操作軟件和強(qiáng)大的腳本語言控制——NT-MDT*

光學(xué)垂直方向分辨可達(dá)0.4um （使用高數(shù)值孔徑的頭部）, 可倒置觀察樣品——NT-MDT*

整體設(shè)計(jì)的液體池，可選配加熱裝置和超小液體池（200微升）

納米刻蝕操作軟件

整體設(shè)計(jì)的防磁、防電、防聲屏蔽罩

低真空操作環(huán)境可選

內(nèi)置濕度、溫度傳感器，LCD液晶顯示

通氣孔設(shè)計(jì)可提供氣體控制

對樣品尺寸無限制

3．應(yīng)用介紹

生物學(xué)和生物技術(shù)
蛋白質(zhì)、 DNA、病毒、細(xì)菌、組織等
材料科學(xué)
表面形貌形態(tài)、壓電性質(zhì)、粘滯力分析、摩擦特性分析等
磁材料
磁疇結(jié)構(gòu)成像、觀察因外部磁場引起的磁性的反轉(zhuǎn)、不同溫度下的磁結(jié)構(gòu)變化等
半導(dǎo)體和電學(xué)性質(zhì)測量
硅片等材料的表面形貌、表面電勢和電容測量、表面電荷分布圖、摻雜濃度分析、失效分析（局域?qū)щ娦院徒^緣層漏電流）
聚合物和有機(jī)薄膜
球狀或柱狀晶體、聚合物單晶材料、聚合物納米顆粒、LB 膜、有機(jī)薄膜等
數(shù)據(jù)存儲
CD, DVD 盤
納米材料
納米粉體、納米復(fù)合材料、納米多孔材料、
納米結(jié)構(gòu)材料
富勒烯、碳納米管、納米絲、納米膠囊

納米電子學(xué)

量子點(diǎn)、納米線、量子結(jié)構(gòu)
納米機(jī)械學(xué)
AFM 納米刻蝕：力（直流電和交流電）、電流（局部陽極氧化）、STM 納米刻蝕
納米操縱
接觸力

1.      NTEGRA-Prima

NT-MDT*的雙掃描模式（DualScan）使總的掃描范圍達(dá)到：200x200x22μm，對樣品尺寸幾乎無限制

這套系統(tǒng)可以用于研究高電阻的材料，例如在半導(dǎo)體基體上的絕緣薄膜，DLC和壓電薄膜，導(dǎo)電聚合物等

This system can be used in research of high-resistance materials such as thin dielectric layers on semiconductors, DLC and piezo-films, conductive polymers etc.

2.      NTEGRA-Aura

NTEGRA Aura allows measurements in low vacuum environment,

Additional possibilities are provided by a temperature table with sample heating up to 300 oC degree Celsius and the accuracy of temperature maintenance 0.05 oC.
Measurements in a controlled gas atmosphere are possible as well.

3.      NTEGRA-Vita

可選用不同的液體槽：密封的化學(xué)穩(wěn)定的液體槽，可以進(jìn)行升溫控制；用于在培養(yǎng)皿中進(jìn)行操作的封閉式液體槽；可更換的加熱器。

Different liquid cells are available: hermetic chemically stable liquid flow cell with a possibility of the temperature control at elevated temperatures; closed liquid flow temperature controlled cell for operating with Petri dishes; replaceable heater

4.      NTEGRA-Maximus

NTEGRA Maximus 基座是一個(gè)帶有傳動平臺的可更換的*部件。樣品在50mm內(nèi)可在XY方向上自由移動，且可以進(jìn)行0-360度旋轉(zhuǎn)。

NTEGRA Maximus basement is a changeable center unit with a motorized stage. Sample movement is possible within 50mm by X,Y and within 0-360 degrees under rotation

許多小樣品也可以在 NTEGRA Maximus上進(jìn)行自動測量，且提供高質(zhì)量的成像效果。

Automated measurements of many small samples are also possible with NTEGRA Maximus enabling high throughput screening.

5.      NTEGRA-Solaris

集成到*基座上的倒置式顯微鏡使系統(tǒng)具有高的剛性，保證了系統(tǒng)的穩(wěn)定性，從而不僅可以獲得高質(zhì)量的成像效果，且可進(jìn)行長時(shí)間的研究。

The integrating of the inverted microscope objective into the central base because of high mechanical rigidity provides stability of the system making quality images and long-term experiments possible

6.      NTEGRA-Spectra

通用的PNL平臺為將掃描共聚焦顯微鏡、常規(guī)的AFM和分光鏡聯(lián)用提供了可能性，從而可以探測拉曼散射光譜，進(jìn)而可以得到很多與樣品化學(xué)組成有關(guān)的復(fù)雜信息。

The universal PNL platform provides the possibility to integrate scanning confocal scheme in combination with regular AFM and spectrometer to detect Raman scattering spectrum. This spectra may then be interpreted into complex information concerning chemical composition of the object.

7.      NTEGRA-Therma

的熱學(xué)頭部可提供非常低的熱漂移（小于10 nm/°C），保證了針尖-樣品系統(tǒng)的穩(wěn)定性。這樣可以對樣品表面選定的點(diǎn)進(jìn)行長時(shí)間的研究。

Special Thermo head provides extremely low thermal drift （less than 10 nm/癈） ensuring high stability of the tip-sample system. This allows long-term measurements to be done in pre-defined point on the specimen surface.

8.      NTEGRA-Tomo

超薄切片機(jī)可以制備用于原子力顯微鏡研究的納米片層和新鮮表面。因此，可以研究表面的物理性質(zhì)和重構(gòu)后的3維圖像
經(jīng)過NTEGRA Tomo處理后的片狀樣品可以用于透射電鏡分析。

Ultramicrotome makes nanoslices of a sample and a freshly cut surface is then measured by AFM. Thus, many physical properties of a surface are studied and 3D-volume imaging is available after the reconstruction.
After the NTEGRA Tomo operation sample slices stay available for TEM analysis